LS高速中空轴电机在半导体行业应用

LS高速中空轴电机在半导体行业应用

随着国内的半导体行业的发展，制程设备关键零部件，LS特研制出的空心轴高速伺服电机，有着20多年行业应用。服务于半导体涂胶、显影、清洗设备中，吸附晶圆工艺，该电机具备高加速度，速度范围宽，高响应性等特点，在业内广受客户好评。

一、Spinner  Motor中空轴电机的特点

1、中空轴高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000-8000rpm

2、超快的加速/减速时间；

3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至；

4、轴孔采用真空空心轴设计，轴端个性化的设计，确保chunk运行平稳

5、电机功率:750W，采用水冷却系统设计，符合6寸、8寸、12寸晶圆的要求

6、针对不同用户可以为客户进行轴端定制化设计

二、高速中空电机的应用范围：
1、曝光显影设备 (涂胶，显影) 光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。
2、清洗、涂胶、显影去膜设备。
3、适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗及喷雾工艺。

三、高速中空轴伺服产品规格及应用领域

1、 750W – 5000 , 6000 rpm

2、应用领域（机型）

l 8寸、 12寸半导体设备

l 涂胶、显影、清洗、刻蚀等工艺

l 瞬时加速

l 特殊的轴端设计，确保轴端负载跳动平稳

               液体散热