LS单片晶圆清洗中空轴电机APM-HB07HCH-WN01 晶圆容易吸附潮气到表面.光刻胶黏附要求要严格的干燥表面，所以在涂胶之前要进行脱水烘培和黏附剂的 涂覆.有时要用到黏附剂，黏附剂通常使用HMDS（六甲基二硅胺脘）,表面处理的主要作用是提高光刻胶与衬底之 间的粘附力，使之在显影过程中光刻胶不会被液态显液渗透.

8寸匀胶清洗APM-HB07HCH-WN01中空轴电机 一、Spinner Motor中空轴电机的特点 1、中空轴高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000-8000rpm 2、超快的加速/减速时间； 3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至； 4、轴孔采用真空空心轴设计，轴端的设计，确保chunk运行平稳 5、电机功率:750W，采 8寸匀胶清洗APM-HB07HCH-WN01中空轴

6寸晶圆匀胶清洗APM-HB03HCH Spinner 一、Spinner Motor中空轴电机的特点 1、中空轴高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000-8000rpm 2、超快的加速/减速时间； 3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至； 4、轴孔采用真空空心轴设计，轴端的设计，确保chunk运行平稳 5、电机功率:750W，采 6寸晶圆匀胶清洗APM-HB03HCH Spinn

晶圆匀胶APM-HB03HCH-CD2高速中空电机 一、Spinner Motor中空轴电机的特点 1、中空轴高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000-8000rpm 2、超快的加速/减速时间； 3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至； 4、轴孔采用真空空心轴设计，轴端的设计，确保chunk运行平稳 5、电机功率:750W，采 晶圆匀胶APM-HB03HCH-CD2高速中空电机

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APM-HC07HCH-C100晶圆单片12寸清洗中空电机 一、Spinner Motor中空轴电机的特点 1、中空轴高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000-8000rpm 2、超快的加速/减速时间； 3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至； 4、轴孔采用真空空心轴设计，轴端的设计，确保chunk运行平稳 5、电机功率:750W，采用水冷却系统设计，符合6寸、8寸、12寸晶圆

APM-HB03HCH-CD晶圆匀胶高速中空电机 APM-HB03HCH-CD晶圆匀胶高速中空电机 一、Spinner Motor中空轴电机的特点 1、中空轴高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000-8000rpm 2、超快的加速/减速时间； 3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至； APM-HB03HCH-CD晶圆匀胶高速中空电机 APM-HB03HCH-CD晶圆匀胶高速中空电机

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