LS晶圆清洗APM-HE30AN0H中空轴伺服电机一,Spinner Motor中空轴电机的特点 1、中空轴高速电机结构:额定转速:5000rpm,最大转速6000-8000rpm 2、超快的加速/减速时间; 3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至; 4、轴孔采用真空空心轴设计,轴端的设计,确保chunk运行平稳 5、电机功率:750W,采 晶圆刻蚀固晶设备APM-HE30ACH大中空电机 晶圆清
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半导体设备APM-HB01ACH空心轴伺服电机 一、Spinner Motor中空轴电机的特点 1、中空轴高速电机结构:额定转速:5000rpm,最大转速6000-8000rpm 2、超快的加速/减速时间; 3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至; 4、轴孔采用真空空心轴设计,轴端的设计,确保chunk运行平稳 5、电机功率:750W,采 半导体设备APM-HB01ACH空心轴伺服电机 晶圆清
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