更新时间:2024-07-02
LS单片晶圆清洗中空轴电机APM-HB07HCH-WN01晶圆容易吸附潮气到表面.光刻胶黏附要求要严格的干燥表面,所以在涂胶之前要进行脱水烘培和黏附剂的涂覆.有时要用到黏附剂,黏附剂通常使用HMDS(六甲基二硅胺脘),表面处理的主要作用是提高光刻胶与衬底之间的粘附力,使之在显影过程中光刻胶不会被液态显液渗透.
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LS单片晶圆清洗中空轴电机APM-HB07HCH-WN01
一、Spinner Motor中空轴电机的特点
1、中空轴高速电机结构:额定转速:5000rpm,最大转速6000-8000rpm
2、超快的加速/减速时间;
3、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至;
4、轴孔采用真空空心轴设计,轴端的设计,确保chunk运行平稳
5、电机功率:750W,采
12寸匀胶清洗APM-HB07HCH-WN01中空
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