更新时间：2024-06-24
韩国LS|MERIT200半导体清洗设备专用流量计代替日本东富科 TOFCO TKK首先我们对于您给予 MERIT100这个产品以极大的信任表示感谢.MERIT100在洁净室的环境中进行生产并经历严格的品质管理在出货前经历多项检测因此造就了优秀的性能和的品质。该机器是为了快速、精密地测定管道内流动液体的流量而设计制作的,同时外观的设计兼顾耐用和美观的优点。
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韩国LS|MERIT200半导体清洗设备专用流量计
韩国LS|MERIT200半导体清洗设备专用流量计
代替日本东富科 TOFCO TKK
◎ 高纯度药液与超纯粹等液体的高速精密流量测量
◎ 高品质高精密的半导体与产业用非接触式超声波测量仪使用
◎ 以RS-485通信(Modbus)监视多数流量
◎ 以电源分离屏蔽外部干扰及所有输入输出RFI/EMI (CE认证)
◎ 可以测量多种液体的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氢氟酸, 氨水等)
◎ 7 Segment 4Digit Display
◎ 外部输出功能 – Analog Out : 4 ~ 20mA(16bit) / Sol Valve控制
◎ AMP(6渠道) 一体化，空间最小化
◎ 以酸反洗井工程Particle最小化(选项)
韩国LS|MERIT200半导体清洗设备专用流量计
◎ 瞬时及积算Flow Meter(ml/min)
◎ 通过超声波波形分析功能提供精密测量
◎ 对因药液及温度变化而产生的误差自动补正
◎ 以Serial Comm. 提供各样的应用技术及维护软件道具
韩国LS|MERIT200半导体清洗设备专用流量计
▶ Merit 200 Series LFC 特征
◎ 控制阀门内置的高品质高精密半导体及产业用非接触式LFC
◎ 可以测量多种液体的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氢氟酸, 氨水, SC1, IPA)
◎ 以电源分离屏蔽外部干扰及所有输入输出RFI/EMI (CE认证)
◎ 维修简便(控制电源与检测器一体型接液部)
◎ 外部输出功能(Sol Valve On/Off与循环Valve控制)
◎ AMP(6渠道) 一体化，空间最小化
◎ 以搞清洁阀门使用Particle最少话(选项)
韩国LS|MERIT200半导体清洗设备专用流量计
▶ Merit 200 Series LFC 功能
◎ 目标量瞬时控制及流量脉动过滤
◎ 通过超声波波形分析功能提供精密测量
◎ 对因药液及温度变化而产生的误差自动补正
◎ 以Serial Comm. 提供各样的应用技术及维护软件道具
◎ 通过RS-485通信方式多数流量监测
◎ 告诉控制响应 (目标流量率98%, 2秒以内)
区分 | 样式 |
电源 | DC+24V（±10%） |
温度 | 0~50℃ |
消耗电流 | 约25.2W（六频道） |
防水结构 | IP20 |
通信规格 | RS-485（MODBUS） |
产品尺寸 | 50mm × 126mm × 79.5mm |
重量 | 293g（六频道） |
CE认证 | EN61326,55011 |
韩国LS|MERIT200半导体清洗设备专用流量计
区分 | 样式 |
测量对象 | 全部液体 |
流体温度 | 10~90℃ |
流体压力 | 0~0.35Mpa（极限值0.5Mpa） |
声波范围 | 1000~2200m/Sec |
防水结构 | IP65 |
材质 | PFA |
标准管径 | 1/4inch，3/8inch，1/2inch，3/4inch |
线缆长度 | （样式）：2M，3M，5M |
区分 | A20（1/4"） | A50（3/8"） | A200（1/2"） | A500（3/4"） | 备注 |
药液 | Chemical, slurry, DIW | ||||
流量范围 | 0.02~2.5 | 0.1~5.0 | 0.5~20 | 1~50 | L/min |
最小Unit | 1 mL/min | 10mL/min | |||
管径 | 6.35(3.96) | 9.52(6.35) | 12.7(9.53) | 19(15.87) | 外径（内径）mm |
精度 | 0.05~0.3(±3) | 0.1~0.6(±6) | 0.5~2.0(±20) | 1.0~5.0(±50) | L/min（mL/min） |
0.3~2.5 (±1%) | 0.6~5.0(±1%) | 2.0~20(±1%) | 5.0~50(±1%) | of RD |
类别 | 韩国ls M100-xxxx | 日本TOFCO USFXXX | SFC-XXX 日本TKK | 备注 |
英寸 | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | |
尺寸 | 119.6 x 20.8 x 152.6 mm | 138 x 40 x 105 mm | 134 x 20 x 100 mm | 设置尺寸较小， 安装尺寸最小化 |
材料/防水 | PFA / IP65 (Detector) | PFA | PFA | |
电源 | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | |
精度 | 20mL~300mL : ±3mL 300mL~2500mL : ±1% | 50mL~300mL : ±3mL 300mL~3000mL : ±1% | 50mL~800mL : ±8mL 800mL~2000mL: ±1% | 小流量更为精准 |
流体温度 | 10 ~ 90℃ （Option ~150℃） | 10 ~ 90℃ (Option ~180℃) | 10~ 180℃ | 可以在高温使用 |
响应时间 | 1.5 sec | - | - | 反应速度快 |
可测范围(DIW) | 20 ~ 2500mL/min | 50 ~ 3000mL/min | 50~ 2500mL/min | ***流量值最小 |
模拟输出 | 4-20 mA | 4-20 mA | 4-20 mA | |
操作模式 | Analog output mode RS-485 Isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | 绝缘类型适用 (5 kV rms isolated) |
频道数 | 2/6Channel | 2Channel | 1Channel |
韩国LS|MERIT200半导体清洗设备专用流量计
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